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粘合式MEMS振鏡（Bonded MEMS Mirrors）與硅致動器（silicon actuator）結(jié)構(gòu)分開制造，用于隨后在設備頂部進行微組裝。因為這些振鏡（Mirrors）是從設備致動器結(jié)構(gòu)的上方連接的，所以它們不占據(jù)致動器區(qū)域的一部分，因此基本上可以制成任意尺寸。粘合MEMS振鏡方法允許用戶為每個單獨的應用選擇反射鏡的尺寸和幾何形狀，以優(yōu)化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權(quán)衡。鏡子被粘合到現(xiàn)成的致動器上，從而能夠經(jīng)濟地適應一小組制造的設備以適應廣泛的應用。

• 粘合式MEMS振鏡尺寸：庫存有2.0、2.4、3.0、3.6、4.2、4.6mm和5.0mm、6.4mm和7.5mm直徑。
• 點對點驅(qū)動下的最大傾斜角：每個軸上的機械式-6° 至+6°，隨設計類型而異，并且在某些情況下受反射鏡尺寸的限制。
• 共振驅(qū)動下的最大傾斜角：-7° 至+7° 機械，在某些情況下受反射鏡尺寸的限制。
• 單軸選項：庫存單軸執(zhí)行器可以與許多可用的反射鏡尺寸組合。

這些是在制造時制作的給定設計的典型器件的示例特性報告。大多數(shù)設計都有額外的完整數(shù)據(jù)表，可根據(jù)要求向sales@bonphot.com 索取。

表面粗糙度：<10 nm rms

驅(qū)動方法：靜電驅(qū)動，使用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驅(qū)動器

鏡面曲率半徑：>5 m

鏡面涂層：鋁或金

位置重復性：室溫下優(yōu)于0.001°（1毫度）

工作溫度：MEMS Mirror工作溫度：-40°C至125°C（具體產(chǎn)品規(guī)格取決于封裝）

光學窗口：抗反射涂層熔融石英窗口?？刹鹦兜?。

A型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm雙面增透膜，AOI 22.5°

B型：熔融石英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm雙面增透膜，AOI 22.5°

C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm雙面增透膜，AOI 22.5°

*客戶特定波長和AOI可用于100件以上的數(shù)量。

光功率處理：高達2W任何鏡子，任何波長。2W以上取決于反射鏡尺寸、鍍膜和波長。例如。3W CW藍色或綠色在2毫米或更大的鏡子上。

第一共振旋轉(zhuǎn)頻率：對于小鏡子尺寸的兩個軸>3 kHz，對于2.0mm尺寸的>1.2kHz等。

傾斜角是模擬的，而不是開關

這是不能用于任意方向光束控制的數(shù)字微鏡元件的關鍵區(qū)別。換句話說，如果需要6.15°的傾斜角，只需施加正確的電壓，即可獲得該角度（或任何其他角度）并將其保持任何時間長度，而功耗幾乎為零。

點對點掃描

這些設備針對點對點光束掃描操作模式進行了設計和優(yōu)化。穩(wěn)態(tài)模擬驅(qū)動電壓導致微鏡的穩(wěn)態(tài)模擬旋轉(zhuǎn)角。電壓和角度之間存在一一對應的高度可重復性。還提供了許多諧振型掃描MEMS反射鏡設計，用于視頻投影和高速成像，例如48000行/秒。

動態(tài)模式掃描

設備還可以在動態(tài)、諧振模式下運行。在這種模式下，接近共振頻率的低驅(qū)動電壓會導致較大的雙向光束角（例如-16°到16°）。 對于MEMS顯示器應用，諧振頻率范圍從幾kHz到24 kHz甚至更高。 共振取決于致動器類型（系列）以及微鏡類型和直徑。

高速點對點光束掃描

我們專有的無云臺設計的主要優(yōu)勢是能夠在兩個軸上以同樣高的速度掃描光束。具有0.8 mm直徑大小的微鏡的典型設備可實現(xiàn)高達500 rad/s的角光束掃描，并且在兩個軸上的第一諧振頻率約為4 kHz。<100 μs的大角度階躍響應建立時間已在具有直徑達0.8 mm的微鏡的設備上得到證明。 具有2.0毫米直徑反射鏡的設備可以實現(xiàn)小于1毫秒的大角度步進穩(wěn)定時間，第一諧振頻率約為1.3 kHz。

模塊化設計

為了生產(chǎn)具有不同鏡面尺寸的設備，大多數(shù)技術不僅需要新的制造周期，而且在某些情況下還需要完成致動器的重新設計。Mirrorcle Technologies是全球唯一一家提供基于MEMS的可定制孔徑尺寸光束控制技術的供應商。 即，在自對準硅制造工藝中設計和實現(xiàn)了針對速度、角度、面積足跡或諧振驅(qū)動優(yōu)化的靜電致動器組。 金屬化、超低慣性單晶鏡通過特殊的硅梁設計而變得堅硬和平坦，是在單獨的制造過程中創(chuàng)建的。 反射鏡的直徑和幾何形狀是針對給定應用選擇的，以優(yōu)化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權(quán)衡。 隨后將鏡子粘合到致動器上。

有多種無萬向節(jié)兩軸致動器設計可供選擇。執(zhí)行器本身就適用于模塊化設計方法。每個致動器可以使用任意長度的旋轉(zhuǎn)器、任意剛性連桿和任意定位的機械旋轉(zhuǎn)變壓器。庫存類別包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在大多數(shù)情況下，由于增加的靜電力，較大的芯片尺寸可以提供更好的性能。 除了芯片尺寸之外，其他參數(shù)也有所不同，例如 剛性。 例如，一個設備系列設計為在大角度（-7.5°到+7.5°機械傾斜）下運行，而另一個系列設計為在小尖端傾斜角度但顯著更高的速度下運行（-1.0°到+1.0°機械傾斜）。