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MEMS 振鏡
微型，高性能，電磁驅(qū)動的二維激光掃描MEMS振鏡
S13989-01H是電磁驅(qū)動振鏡，結(jié)合了我們獨(dú)特的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。 通過采用氣密密封包裝，可實(shí)現(xiàn)高可靠性。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。
產(chǎn)品特點(diǎn)
· 低電流運(yùn)行
· 超小型尺寸
· 較大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角
典型應(yīng)用
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產(chǎn)品介紹
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S13989-01H是電磁驅(qū)動振鏡，結(jié)合了我們獨(dú)特的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。 通過采用氣密密封包裝，可實(shí)現(xiàn)高可靠性。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。

產(chǎn)品型號及主要指標(biāo)

類型 For 2-dimensional scan
掃描模式 2-axis raster scan
運(yùn)行模式 Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode
振鏡尺寸 φ1.23 mm
振鏡材料 Aluminium
光學(xué)偏轉(zhuǎn)角 Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 °
驅(qū)動頻率（最大值） Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz


外形尺寸圖（單位：mm)

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